スリット型大気圧低温プラズマ装置SPR-DFS-01

生産ラインに組み込める、
幅広処理 × ダメージフリー × 高速処理を実現。

SPR-DFS-01 は、スリット状で均一な大気圧低温プラズマを生成する装置です。広範囲の面を、大気圧環境のまま、安定してプラズマ処理できます。

金属や生体を近づけても雷放電が起こらず、ワークに放電損傷を与えない“ダメージフリー”なプラズマを生成します。
約100℃以下の低温プラズマを大気圧下で安定的に発生できるため、熱ダメージの心配もありません。
これらの技術特性により、フィルムや電子基板、低融点樹脂部材といった、熱や放電に弱いワークにも幅広く照射が可能で、安全に取り扱える設計です。

処理ヘッドは電源供給ケーブルとガスチューブで接続されており、250mmスリットタイプでも重量2kg以下と軽量。量産工程への組み込みにも適しています。スリット幅は用途に応じて拡張できます。

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